Die Wafer-Kassette wird zur Handhabung und Lagerung von Wafer-Trägern verwendet. Ihre Hauptfunktion besteht darin, sie mit den Reaktionskammern der Mikroumgebungsboxen verschiedener Produktionsmaschinen zu verbinden, eine Kontamination der Waferpartikel zu verhindern und die Handhabungs- und Lagerungszuverlässigkeit sowie die Transporteffizienz zu verbessern. Um den Anforderungen unterschiedlicher Bereiche und unterschiedlicher Chip-Level gerecht zu werden, sind Waferboxen in verschiedenen Größen erhältlich.
Der Peek Carrier Wafer eignet sich für die Übertragung von Wafern während des Herstellungsprozesses. Mit dem Wafer-Clip können Wafer aufbewahrt und transportiert sowie zuverlässig gelagert und übertragen werden.
Insbesondere sind PEEK-Wafer-Kassetten für den Transport verschiedener Arten von Halbleiter-Wafern und Halbleitermaterialien der dritten Generation wie Silizium, Germanium, Galliumarsenid und anderen konzipiert.
Sie fungieren als Schutzschilde während der Verarbeitung, Bewegung und Lagerung der Wafer und stellen sicher, dass die Wafer während der Bewegung und Lagerung nicht mit Verunreinigungen in Berührung kommen.
Da das PEEK-Material gute antistatische Eigenschaften sowie geringe Entgasungseigenschaften aufweist, trägt es zur Reduzierung von Partikelverunreinigungen bei und verbessert somit die Qualität der Wafer.
Spezifikationen für PEEK-Trägerwafer
| Größe | Kapazität | D1 Tonhöhe | Schlitzabstand | Breite unten |
|---|---|---|---|---|
| 4" | 25 | 14,53 mm (0,57 Zoll) | 4,76 mm (0,19 Zoll) | 1,52 mm (0,06 Zoll) |
| 4 1/8" | 12 | 21,26 mm (0,84 Zoll) | 9,5 mm (0,37 Zoll) | 6,28 mm (0,25 Zoll) |
| 6“ | 25 | 14,53 mm (0,57 Zoll) | 4,76 mm (0,19 Zoll) | 1,52 mm (0,06 Zoll) |
| 6.25" | 12 | 18,92 mm (0,74 Zoll) | 9,52 mm (0,37 Zoll) | 3,81 mm (0,15 Zoll) |
| 6.25" | 25 | 14,54 mm (0,57 Zoll) | 4,76 mm (0,19 Zoll) | 1,52 mm (0,06 Zoll) |
| 8" | 25 | 25,4 mm (1 Zoll) | 6,35 mm (0,25 Zoll) | 1,7 mm (0,07 Zoll) |
PEEK-Trägerwafer können antistatisch sein und der Oberflächenwiderstand erreicht 10⁶-109
Beim Laden des PEEK-Trägerwafers entstehen keine feinen Abriebpartikel, die den Waferclip verunreinigen.
Die PEEK-Waferkassette ist korrosionsbeständig gegenüber verschiedenen Chemikalien bei der Waferreinigung.
PEEK-Trägerwafer weisen eine hohe Steifigkeit auf, die nicht nur Verformungen durch äußere Kräfte standhält, sondern auch die Verpackungsgenauigkeit zwischen den Komponenten gewährleistet.
Bei Raumtemperatur oder sogar in Hochtemperaturumgebungen ist die freigesetzte Gasmenge minimal, wodurch die hohen Anforderungen an eine Waferkassette hinsichtlich der Gasreinheit erfüllt werden können.
PEEK-Trägerwafer können die Trocknungstemperaturanforderungen von 150–260 Grad Celsius erfüllen und die Größe des Produkts ändert sich nicht.
