La cassette de plaquettes est utilisée pour la manipulation et le stockage du support de plaquettes, le rôle principal est de se connecter aux chambres de réaction de la boîte à micro-environnement de différentes machines de production, pour éviter la contamination des particules de plaquettes, pour améliorer la fiabilité de la manipulation et du stockage et l'efficacité du transport, différentes tailles de puce de plaquette pour répondre aux besoins de différentes zones et différents niveaux de la puce, donc la boîte à plaquettes existe en différentes tailles.
Le support de plaquettes peek est adapté au transfert de plaquettes pendant le processus de fabrication, avec le clip de plaquettes peut stocker et transporter les plaquettes, le stockage et la fiabilité du transfert.
Plus précisément, les cassettes de plaquettes PEEK sont conçues pour transporter différents types de plaquettes de semi-conducteurs et de matériaux semi-conducteurs de troisième génération comme le silicium, le germanium, l'arséniure de gallium et autres.
Ils fonctionnent comme des boucliers pendant le traitement, le déplacement et le stockage des plaquettes afin de garantir que celles-ci n'entrent pas en contact avec des contaminants lors du déplacement et du stockage.
Étant donné que le matériau PEEK présente de bonnes propriétés antistatiques ainsi que de faibles caractéristiques de dégazage, cela contribue à réduire les contaminants particulaires, améliorant ainsi la qualité des plaquettes.
Spécifications des plaquettes de support PEEK
| taille | Capacité | Terrain D1 | Pas de fente | largeur du bas |
|---|---|---|---|---|
| 4" | 25 | 14,53 mm (0,57") | 4,76 mm (0,19 po) | 1,52 mm (0,06") |
| 4 1/8" | 12 | 21,26 mm (0,84 po) | 9,5 mm (0,37") | 6,28 mm (0,25") |
| 6“ | 25 | 14,53 mm (0,57") | 4,76 mm (0,19 po) | 1,52 mm (0,06") |
| 6.25" | 12 | 18,92 mm (0,74 po) | 9,52 mm (0,37") | 3,81 mm (0,15 po) |
| 6.25" | 25 | 14,54 mm (0,57") | 4,76 mm (0,19 po) | 1,52 mm (0,06") |
| 8" | 25 | 25,4 mm (1") | 6,35 mm (0,25") | 1,7 mm (0,07") |
La plaquette de support PEEK peut atteindre un niveau antistatique et la résistivité de surface atteint 10⁶-109
Le processus de chargement de la plaquette de support PEEK ne produira pas de débris d'usure fins susceptibles de contaminer le clip de la plaquette.
La cassette de plaquettes PEEK peut résister à la corrosion causée par divers produits chimiques lors du nettoyage des plaquettes,
La plaquette de support PEEK présente une rigidité élevée, qui peut non seulement résister à la déformation causée par des forces externes, mais également garantir la précision de l'emballage entre les composants.
La quantité de gaz libérée à température ambiante ou même dans un environnement à haute température est minime, ce qui peut répondre aux exigences élevées d'une cassette de plaquettes en matière de propreté du gaz.
La plaquette de support PEEK peut répondre aux exigences de température de séchage de 150 à 260 degrés Celsius et la taille du produit ne changera pas.
