O cassete de wafer é usado para manuseio e armazenamento do suporte de wafer, a principal função é conectar-se às câmaras de reação da caixa do microambiente de diferentes máquinas de produção, para evitar a contaminação de partículas de wafer, para melhorar a confiabilidade do manuseio e armazenamento e a eficiência do transporte, vários tamanhos do chip de wafer para atender às necessidades de diferentes áreas e diferentes níveis do chip, portanto, a caixa de wafer na existência de diferentes tamanhos.
O Peek Carrier Wafer é adequado para transferir wafers durante o processo de fabricação, com o clipe de wafer pode armazenar e transportar wafers, armazenamento e confiabilidade de transferência.
Especificamente, os cassetes de wafer PEEK são projetados para transportar diferentes tipos de wafers semicondutores e materiais semicondutores de terceira geração, como silício, germânio, arsenieto de gálio e outros.
Eles funcionam como escudos durante o processamento, movimentação e armazenamento de wafers para garantir que eles não entrem em contato com contaminantes durante a movimentação e o armazenamento.
Como o material PEEK apresenta bom desempenho em propriedades antiestáticas, bem como características de baixa desgaseificação, isso auxilia na redução de contaminantes de partículas, melhorando assim a qualidade dos wafers.
Especificações do wafer transportador PEEK
| tamanho | Capacidade | Passo D1 | Campo de slot | largura inferior |
|---|---|---|---|---|
| 4" | 25 | 14,53 mm (0,57") | 4,76 mm (0,19") | 1,52 mm (0,06") |
| 4 1/8" | 12 | 21,26 mm (0,84") | 9,5 mm (0,37") | 6,28 mm (0,25") |
| 6“ | 25 | 14,53 mm (0,57") | 4,76 mm (0,19") | 1,52 mm (0,06") |
| 6.25" | 12 | 18,92 mm (0,74") | 9,52 mm (0,37") | 3,81 mm (0,15") |
| 6.25" | 25 | 14,54 mm (0,57") | 4,76 mm (0,19") | 1,52 mm (0,06") |
| 8" | 25 | 25,4 mm (1") | 6,35 mm (0,25") | 1,7 mm (0,07") |
O wafer transportador PEEK pode atingir um nível antiestático e a resistividade da superfície atinge 10⁶-109
O processo de carregamento do wafer transportador PEEK não produzirá resíduos finos de desgaste que contaminem o clipe do wafer.
O cassete de wafer PEEK pode resistir à corrosão de vários produtos químicos durante a limpeza do wafer,
O wafer transportador PEEK possui alta rigidez, o que não apenas resiste à deformação causada por forças externas, mas também garante a precisão da embalagem entre os componentes.
A quantidade de gás liberada em temperatura ambiente ou mesmo em ambientes de alta temperatura é mínima, o que pode atender aos altos requisitos de um cassete de wafer para limpeza de gás.
O wafer transportador PEEK pode atender aos requisitos de temperatura de secagem de 150-260 graus Celsius, e o tamanho do produto não mudará.
