Kaset wafer digunakan untuk penanganan dan penyimpanan pembawa wafer, peran utamanya adalah untuk menghubungkan ke berbagai ruang reaksi kotak lingkungan mikro mesin produksi, untuk mencegah kontaminasi partikel wafer, untuk meningkatkan keandalan penanganan dan penyimpanan serta efisiensi transportasi, berbagai ukuran chip wafer untuk memenuhi kebutuhan berbagai area dan berbagai tingkat chip, sehingga kotak wafer memiliki berbagai ukuran.
Peek Carrier Wafer cocok untuk memindahkan wafer selama proses produksi, dengan klip wafer dapat menyimpan dan mengangkut wafer, penyimpanan, dan pemindahan menjadi andal.
Secara khusus, kaset wafer PEEK dirancang untuk mengangkut berbagai jenis wafer semikonduktor, dan bahan semikonduktor generasi ketiga seperti silikon, germanium, galium arsenida, dan lainnya.
Mereka berfungsi sebagai pelindung selama pemrosesan, pemindahan, dan penyimpanan wafer untuk memastikan bahwa wafer tidak bersentuhan dengan kontaminan saat pemindahan dan selama penyimpanan.
Karena material PEEK memiliki kinerja yang baik pada sifat anti-statis serta karakteristik degassing yang rendah, hal ini membantu dalam pengurangan kontaminan partikel sehingga meningkatkan kualitas wafer.
Spesifikasi Wafer Pembawa PEEK
| ukuran | Kapasitas | Lapangan D1 | Lapangan slot | lebar bawah |
|---|---|---|---|---|
| 4" | 25 | 14,53mm (0,57") | 4,76mm (0,19") | 1,52mm (0,06") |
| 4 1/8" | 12 | 21,26mm (0,84") | 9,5mm (0,37") | 6,28mm (0,25") |
| 6" | 25 | 14,53mm (0,57") | 4,76mm (0,19") | 1,52mm (0,06") |
| 6.25" | 12 | 18,92mm (0,74") | 9,52mm (0,37") | 3,81mm (0,15") |
| 6.25" | 25 | 14,54mm (0,57") | 4,76mm (0,19") | 1,52mm (0,06") |
| 8" | 25 | 25,4mm (1") | 6,35mm (0,25") | 1,7mm (0,07") |
Wafer Pembawa PEEK dapat mencapai tingkat anti-statis, dan resistivitas permukaan mencapai 10⁶-109
Proses pemuatan PEEK Carrier Wafer tidak akan menghasilkan serpihan halus yang dapat mengontaminasi klip wafer.
Kaset wafer PEEK dapat menahan korosi dari berbagai bahan kimia selama pembersihan wafer,
PEEK Carrier Wafer memiliki kekakuan tinggi, yang tidak hanya dapat menahan deformasi yang disebabkan oleh kekuatan eksternal tetapi juga memastikan akurasi pengemasan antar komponen.
Jumlah gas yang dilepaskan pada suhu ruangan atau bahkan lingkungan bersuhu tinggi adalah minimal, yang dapat memenuhi persyaratan tinggi kaset wafer untuk kebersihan gas.
PEEK Carrier Wafer dapat memenuhi persyaratan suhu pengeringan 150-260 derajat Celsius, dan ukuran produk tidak akan berubah.
