Plus précisément, les cassettes de plaquettes PEEK sont conçues pour transporter différents types de plaquettes de semi-conducteurs et de matériaux semi-conducteurs de troisième génération comme le silicium, le germanium, l'arséniure de gallium et autres.
Ils fonctionnent comme des boucliers pendant le traitement, le déplacement et le stockage des plaquettes afin de garantir que celles-ci n'entrent pas en contact avec des contaminants lors du déplacement et du stockage.
Le matériau PEEK présente de bonnes propriétés antistatiques ainsi que de faibles caractéristiques de dégazage, ce qui contribue à la réduction des contaminants particulaires, améliorant ainsi la qualité des plaquettes.
| taille | Capacité | Terrain D1 | Pas de fente | largeur du bas |
| 4" | 25 | 14,53 mm (0,57") | 4,76 mm (0,19") | 1,52 mm (0,06") |
| 4 1/8" | 12 | 21,26 mm (0,84") | 9,5 mm (0,37") | 6,28 mm (0,25") |
| 6“ | 25 | 14,53 mm (0,57") | 4,76 mm (0,19") | 1,52 mm (0,06") |
| 6,25" | 12 | 18,92 mm (0,74") | 9,52 mm (0,37") | 3,81 mm (0,15") |
| 6,25" | 25 | 14,54 mm (0,57") | 4,76 mm (0,19") | 1,52 mm (0,06") |
| 8" | 25 | 25,4 mm (1") | 6,35 mm (0,25") | 1,7 mm (0,07") |
Non recommandé, uniquement pour le transfert à sec
Les cassettes de plaquettes PEEK bénéficient également de services de personnalisation leur permettant de répondre à des besoins de production spécifiques, ce qui est essentiel dans l'industrie des semi-conducteurs où les produits standards peuvent ne pas correspondre parfaitement aux interfaces des équipements, au type de plaquettes ou aux facteurs environnementaux. La personnalisation structurelle consiste généralement à ajuster les dimensions, la forme des fentes, les ajouts de matériaux ou les fonctionnalités afin d'améliorer la compatibilité et l'efficacité. Par exemple, il est possible de modifier le diamètre des plaquettes (75 mm à 300 mm), la largeur des fentes, la gravure laser, l'intégration RFID et le contrôle automatisé des stocks, ou encore d'utiliser une finition dissipative électrostatique pour éviter la contamination. La personnalisation des couleurs est également possible, il est possible de mélanger des fibres de carbone pour augmenter la rigidité, et des spécifications telles que des fentes élargies (pour des plaquettes plus épaisses) ou un revêtement résistant aux produits chimiques comme le Téflon PFA peuvent être ajoutées. La personnalisation respecte les normes SEMI, qui facilitent l'intégration dans des dispositifs automatisés tels que des bras robotisés. Les délais de livraison sont généralement de 4 à 8 semaines selon la complexité. Cette flexibilité est idéale pour les procédés de haute précision comme le CVD ou la diffusion lors de transferts à haute température.
| Catégorie de personnalisation | Options spécifiques | Paramètres typiques | Avantages |
| Dimensions et capacité | Réglages du diamètre des plaquettes (75 mm, 100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm) ; modification du nombre d'emplacements (12, 22, 25 emplacements) | Largeur de fente : réglable de 1,5 à 3 mm ; Dimensions : conformes aux normes SEMI M31 | S'adapte à différentes épaisseurs de plaquettes, réduit le risque de glissement et améliore la compatibilité avec l'automatisation |
| Conception des machines à sous | Fentes élargies, fentes ouvertes/fermées, angles de biseau optimisés | Espacement des fentes : 10-15 mm ; Angle : 5-10° | Facilite l'insertion/le retrait des plaquettes, convient aux plaquettes épaisses ou fines, réduit les dommages |
| Améliorations matérielles | Mélange de fibres de carbone, revêtement ESD (dissipatif électrostatique), additifs nanomatériaux | Résistivité superficielle : 10^6-10^9 Ω/sq ; Couleurs : Noir/naturel/personnalisé | Améliore la résistance à l'usure et la protection statique, idéal pour les environnements de salle blanche |
| Fonctionnalités supplémentaires | Gravure laser, intégration RFID, revêtements résistants aux produits chimiques (par exemple, PFA ou PPS) | Fréquence RFID : 13,56 MHz ; Profondeur de gravure : 0,1-0,5 mm | Permet le suivi et l'automatisation, augmente l'efficacité de la production |
| Autres exigences particulières | Compatibilité de l'interface machine, personnalisation des couleurs | Résistance à la température : 120 °C en continu, 340 °C en pointe | Convient à un équipement spécifique, améliore la durabilité globale |
| Attribut | Cassette de plaquettes PEEK | Cassette de plaquettes PFA | Comparaison des avantages (PEEK vs PFA) |
| Résistance à la température | Continu 120°C, pic 340°C | Continu 100°C, pic 260°C | Le PEEK excelle dans les procédés à haute température comme le CVD et la diffusion |
| Résistance chimique | Bon (résiste à la plupart des solvants, ne convient pas à l'immersion dans un acide fort) | Excellent (entièrement fluoré, résiste aux acides et bases forts) | Le PFA surpasse les processus de nettoyage chimique |
| Force mécanique | Haute rigidité, résistant à l'usure (résistance à la traction ~100 MPa) | Modéré (résistance à la traction ~25 MPa) | Le PEEK est plus durable, avec une durée de vie plus longue (deux fois celle du PPS) |
| Protection statique | Mélange de fibres de carbone antistatique disponible | Bon, mais nécessite un revêtement supplémentaire | PEEK intègre plus facilement la fonctionnalité ESD |
| Coût | Supérieur (applications premium) | Modéré | Le PEEK offre une plus grande valeur pour l'investissement à long terme |
| Applications typiques | Transferts à sec, cuisson à haute température | Procédés chimiques humides | Le PEEK excelle en termes de résilience à la température, le PFA en termes de compatibilité chimique |
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