El casete de oblea se utiliza para el manejo y almacenamiento del portador de obleas, la función principal es conectar las cámaras de reacción de la caja de microambiente de diferentes máquinas de producción, para evitar la contaminación de partículas de obleas, para mejorar la confiabilidad del manejo y almacenamiento y la eficiencia del transporte, varios tamaños del chip de oblea para satisfacer las necesidades de diferentes áreas y diferentes niveles del chip, por lo que la caja de obleas en la existencia de diferentes tamaños.
El transportador de obleas Peek es adecuado para transferir obleas durante el proceso de fabricación, con el clip para obleas se pueden almacenar y transportar obleas, con confiabilidad en el almacenamiento y la transferencia.
Específicamente, los casetes de obleas PEEK están diseñados para transportar diferentes tipos de obleas semiconductoras y materiales semiconductores de tercera generación como silicio, germanio, arseniuro de galio y otros.
Funcionan como escudos durante el procesamiento, movimiento y almacenamiento de obleas para garantizar que estas no entren en contacto con contaminantes cuando se mueven y mientras están almacenadas.
Debido a que el material PEEK tiene un buen desempeño en propiedades antiestáticas, así como características de baja desgasificación, esto ayuda a reducir los contaminantes de partículas, mejorando así la calidad de las obleas.
Especificaciones de la oblea portadora PEEK
| tamaño | Capacidad | Tono D1 | Paso de ranura | Ancho inferior |
|---|---|---|---|---|
| 4" | 25 | 14,53 mm (0,57") | 4,76 mm (0,19") | 1,52 mm (0,06") |
| 4 1/8" | 12 | 21,26 mm (0,84") | 9,5 mm (0,37") | 6,28 mm (0,25") |
| 6" | 25 | 14,53 mm (0,57") | 4,76 mm (0,19") | 1,52 mm (0,06") |
| 6.25" | 12 | 18,92 mm (0,74") | 9,52 mm (0,37") | 3,81 mm (0,15") |
| 6.25" | 25 | 14,54 mm (0,57") | 4,76 mm (0,19") | 1,52 mm (0,06") |
| 8" | 25 | 25,4 mm (1") | 6,35 mm (0,25") | 1,7 mm (0,07") |
La oblea portadora de PEEK puede alcanzar un nivel antiestático y la resistividad de la superficie alcanza 10⁶-109
El proceso de carga de la oblea portadora de PEEK no producirá residuos de desgaste finos que puedan contaminar el clip de la oblea.
El casete de obleas de PEEK puede resistir la corrosión de varios productos químicos durante la limpieza de obleas.
La oblea portadora PEEK tiene una alta rigidez, que no solo puede resistir la deformación causada por fuerzas externas sino que también garantiza la precisión del empaquetado entre los componentes.
La cantidad de gas liberado a temperatura ambiente o incluso en entornos de alta temperatura es mínima, lo que puede cumplir con los altos requisitos de un casete de oblea en cuanto a limpieza de gases.
La oblea portadora PEEK puede cumplir con los requisitos de temperatura de secado de 150 a 260 grados Celsius y el tamaño del producto no cambiará.
