Específicamente, los casetes de obleas PEEK están diseñados para transportar diferentes tipos de obleas semiconductoras y materiales semiconductores de tercera generación como silicio, germanio, arseniuro de galio y otros.
Funcionan como escudos durante el procesamiento, movimiento y almacenamiento de obleas para garantizar que estas no entren en contacto con contaminantes cuando se mueven y mientras están almacenadas.
El material PEEK tiene un buen desempeño en propiedades antiestáticas, así como características de baja desgasificación, esto ayuda a reducir los contaminantes de partículas, mejorando así la calidad de las obleas.
| tamaño | Capacidad | Tono D1 | Paso de ranura | Ancho inferior |
| 4" | 25 | 14,53 mm (0,57") | 4,76 mm (0,19") | 1,52 mm (0,06") |
| 4 1/8" | 12 | 21,26 mm (0,84") | 9,5 mm (0,37") | 6,28 mm (0,25") |
| 6" | 25 | 14,53 mm (0,57") | 4,76 mm (0,19") | 1,52 mm (0,06") |
| 6,25" | 12 | 18,92 mm (0,74") | 9,52 mm (0,37") | 3,81 mm (0,15") |
| 6,25" | 25 | 14,54 mm (0,57") | 4,76 mm (0,19") | 1,52 mm (0,06") |
| 8" | 25 | 25,4 mm (1") | 6,35 mm (0,25") | 1,7 mm (0,07") |
No recomendado, solo para transferencia en seco.
Los casetes de obleas de PEEK también cuentan con servicios de personalización que les permiten satisfacer necesidades de producción especiales, algo fundamental en la industria de semiconductores, donde los productos estándar pueden no coincidir completamente con las interfaces de los equipos, el tipo de obleas o los factores ambientales. La personalización estructural se realiza generalmente para ajustar las dimensiones, la forma de las ranuras, la adición de materiales o las características para mejorar la compatibilidad y la eficiencia. Por ejemplo, se puede modificar el diámetro de la oblea (de 75 mm a 300 mm) y el ancho de las ranuras, implementar grabado láser, integración RFID y control automatizado de inventario, o utilizar un acabado disipativo electrostático para evitar la contaminación. También es posible personalizar el color, mezclar fibra de carbono para aumentar la rigidez y añadir especificaciones como ranuras más anchas (para obleas más gruesas) o un recubrimiento resistente a productos químicos como el teflón PFA. La personalización sigue los estándares de SEMI, que facilitan la integración en dispositivos automatizados como brazos robóticos, y los plazos de entrega suelen ser de 4 a 8 semanas, dependiendo de la complejidad. La flexibilidad es perfecta en procesos de alta precisión como la deposición química de vapor (CVD) o la difusión en transferencias de alta temperatura.
| Categoría de personalización | Opciones específicas | Parámetros típicos | Beneficios |
| Dimensiones y capacidad | Ajustes del diámetro de las obleas (75 mm, 100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm); Modificaciones del número de ranuras (12, 22, 25 ranuras) | Ancho de ranura: Ajustable 1,5-3 mm; Dimensiones: Cumple con los estándares SEMI M31 | Se adapta a distintos espesores de obleas, reduce el riesgo de deslizamiento y mejora la compatibilidad con la automatización. |
| Diseño de ranuras | Ranuras ensanchadas, ranuras abiertas/cerradas, ángulos de bisel optimizados | Espacio entre ranuras: 10-15 mm; Ángulo: 5-10° | Facilita la inserción/extracción de obleas, adecuado para obleas gruesas o delgadas, reduce los daños. |
| Mejoras de materiales | Mezcla de fibra de carbono, recubrimiento ESD (disipador electrostático), aditivos nanomateriales | Resistividad superficial: 10^6-10^9 Ω/sq; Colores: Negro/natural/personalizado | Mejora la resistencia al desgaste y la protección estática, ideal para entornos de salas blancas. |
| Características adicionales | Grabado láser, integración RFID, recubrimientos resistentes a productos químicos (por ejemplo, PFA o PPS) | Frecuencia RFID: 13,56 MHz; Profundidad de grabado: 0,1-0,5 mm | Permite el seguimiento y la automatización, aumenta la eficiencia de la producción. |
| Otros requisitos especiales | Compatibilidad con la interfaz de la máquina, personalización del color. | Resistencia a la temperatura: Continua 120 °C, pico 340 °C | Se adapta a equipos específicos y mejora la durabilidad general. |
| Atributo | Casete de obleas PEEK | Casete de oblea de PFA | Comparación de ventajas (PEEK vs. PFA) |
| Resistencia a la temperatura | Continuo 120°C, pico 340°C | Continuo 100°C, pico 260°C | El PEEK destaca en procesos de alta temperatura como CVD y difusión. |
| Resistencia química | Bueno (resiste la mayoría de los solventes, no es adecuado para inmersión en ácidos fuertes) | Excelente (totalmente fluorado, resistente a ácidos y bases fuertes) | PFA supera en procesos de limpieza química |
| Resistencia mecánica | Alta rigidez, resistente al desgaste (resistencia a la tracción ~100 MPa) | Moderado (resistencia a la tracción ~25 MPa) | El PEEK es más duradero, con una vida útil más larga (el doble que el PPS) |
| Protección estática | Disponible mezcla de fibra de carbono con protección ESD | Bueno, pero requiere recubrimiento adicional. | PEEK integra la funcionalidad ESD más fácilmente |
| Coste | Superior (aplicaciones premium) | Moderado | PEEK ofrece un mayor valor para la inversión a largo plazo |
| Aplicaciones típicas | Transferencias secas, horneado a alta temperatura | Procesos químicos húmedos | El PEEK destaca por su resistencia a la temperatura, el PFA por su compatibilidad química. |
