Özellikle PEEK yonga kasetleri, farklı tipteki yarı iletken yongaları ve silikon, germanyum, galyum arsenit ve diğerleri gibi üçüncü nesil yarı iletken malzemeleri taşımak için tasarlanmıştır.
Waferların taşınması ve depolanması sırasında, taşıma ve depolama sırasında kirleticilerle temas etmemesini sağlamak için, işleme, taşıma ve depolama sırasında kalkan görevi görürler.
PEEK malzemesi anti-statik özelliklerin yanı sıra düşük gaz giderme özellikleriyle de iyi performans gösterir, bu da partikül kirleticilerin azaltılmasına yardımcı olarak gofretlerin kalitesini artırır.
| boyut | Kapasite | D1 Perdesi | Slot sahası | alt genişlik |
| 4" | 25 | 14,53 mm (0,57") | 4,76 mm (0,19") | 1,52 mm (0,06") |
| 4 1/8" | 12 | 21,26 mm (0,84") | 9,5 mm (0,37") | 6,28 mm (0,25") |
| 6" | 25 | 14,53 mm (0,57") | 4,76 mm (0,19") | 1,52 mm (0,06") |
| 6.25" | 12 | 18,92 mm (0,74") | 9,52 mm (0,37") | 3,81 mm (0,15") |
| 6.25" | 25 | 14,54 mm (0,57") | 4,76 mm (0,19") | 1,52 mm (0,06") |
| 8" | 25 | 25,4 mm (1") | 6,35 mm (0,25") | 1,7 mm (0,07") |
Tavsiye edilmez, sadece kuru transfer için
PEEK Wafer Kasetleri, standart ürünlerin ekipman arayüzlerine, wafer türüne veya çevresel faktörlere tam olarak uymayabileceği yarı iletken endüstrisinde önemli olduğu gibi, özel üretim ihtiyaçlarını karşılamasını sağlayan özelleştirme hizmetlerine de sahiptir. Yapısal özelleştirme genellikle boyutları, yuva şekillerini, malzeme eklemelerini veya özellikleri ayarlayarak uyumluluğu ve verimliliği artırmak için yapılır. Örneğin, wafer çapı (75 mm ila 300 mm) ve yuva genişlikleri değiştirilebilir, lazer gravür, RFID entegrasyonu ve otomatik envanter kontrolü uygulanabilir veya kontaminasyonu önlemek için elektrostatik dağıtıcı son işlem kullanılabilir. Renk özelleştirmesi de mümkündür; sertliği artırmak için karbon fiber karıştırılabilir ve genişletilmiş yuvalar (daha kalın waferlar için) veya Teflon PFA gibi kimyasallara dayanıklı bir kaplama gibi özellikler eklenebilir. Özelleştirme, robotik kollar gibi otomatik cihazlara kolay entegrasyonu destekleyen SEMI standartlarına uygundur ve teslimat süreleri genellikle karmaşıklığa bağlı olarak 4-8 haftadır. CVD veya yüksek sıcaklık transferlerinde difüzyon gibi yüksek hassasiyetli proseslerde esneklik mükemmeldir.
| Özelleştirme Kategorisi | Belirli Seçenekler | Tipik Parametreler | Faydalar |
| Boyutlar ve Kapasite | Wafer çapı ayarlamaları (75mm, 100mm, 150mm, 200mm, 300mm); Yuva sayısı değişiklikleri (12, 22, 25 yuva) | Yuva genişliği: Ayarlanabilir 1,5-3 mm; Boyutlar: SEMI M31 standartlarına uygundur | Çeşitli gofret kalınlıklarına uyum sağlar, kayma riskini azaltır, otomasyon uyumluluğunu artırır |
| Slot Tasarımı | Genişletilmiş yuvalar, açık/kapalı yuvalar, optimize edilmiş eğim açıları | Yuva aralığı: 10-15 mm; Açı: 5-10° | Gofret yerleştirme/çıkarma işlemini kolaylaştırır, kalın veya ince gofretler için uygundur, hasarı azaltır |
| Malzeme Geliştirmeleri | Karbon fiber harmanlama, ESD kaplama (elektrostatik dağıtıcı), nanomalzeme katkı maddeleri | Yüzey direnci: 10^6-10^9 Ω/kare; Renkler: Siyah/doğal/özel | Aşınma direncini ve statik korumayı artırır, temiz oda ortamları için idealdir |
| Ek Özellikler | Lazer gravür, RFID entegrasyonu, kimyasallara dayanıklı kaplamalar (örneğin, PFA veya PPS) | RFID frekansı: 13.56MHz; Gravür derinliği: 0.1-0.5mm | İzleme ve otomasyonu mümkün kılar, üretim verimliliğini artırır |
| Diğer Özel Gereksinimler | Makine arayüzü uyumluluğu, renk özelleştirmesi | Sıcaklık dayanımı: Sürekli 120°C, en yüksek 340°C | Belirli ekipmanlarla uyumludur, genel dayanıklılığı artırır |
| Bağlanmak | PEEK Wafer Kaseti | PFA Gofret Kaseti | Avantaj Karşılaştırması (PEEK ve PFA) |
| Sıcaklık Dayanımı | Sürekli 120°C, en yüksek 340°C | Sürekli 100°C, en yüksek 260°C | PEEK, CVD ve difüzyon gibi yüksek sıcaklık proseslerinde mükemmeldir |
| Kimyasal direnç | İyi (çoğu çözücüye dayanıklıdır, güçlü asit daldırma için uygun değildir) | Mükemmel (tam florlu, güçlü asitlere ve bazlara dayanıklıdır) | PFA kimyasal temizleme süreçlerinde daha iyi performans gösteriyor |
| Mekanik Dayanım | Yüksek sertlik, aşınmaya dayanıklı (çekme dayanımı ~100 MPa) | Orta (çekme dayanımı ~25 MPa) | PEEK daha dayanıklıdır ve daha uzun ömürlüdür (PPS'nin iki katı) |
| Statik Koruma | ESD'ye dayanıklı, karbon fiber karışımı mevcuttur | İyi, ancak ek kaplama gerektirir | PEEK, ESD işlevselliğini daha kolay entegre eder |
| Maliyet | Daha yüksek (premium uygulamalar) | Ilıman | PEEK uzun vadeli yatırımlar için daha fazla değer sunuyor |
| Tipik Uygulamalar | Kuru transferler, yüksek sıcaklıkta pişirme | Islak kimyasal işlemler | PEEK sıcaklık dayanıklılığında, PFA ise kimyasal uyumlulukta üstündür |
English 
German 
Russian 
Spanish 
French 
Japanese 
Portuguese (Portugal) 
Turkish 
Portuguese (Brazil)