В частности, кассеты для пластин ПЭЭК предназначены для транспортировки различных типов полупроводниковых пластин, а также полупроводниковых материалов третьего поколения, таких как кремний, германий, арсенид галлия и другие.
Они выполняют функцию экранов во время обработки, перемещения и хранения пластин, гарантируя, что пластины не будут контактировать с загрязняющими веществами во время перемещения и хранения.
Материал PEEK обладает хорошими антистатическими свойствами, а также низкими характеристиками дегазации, что способствует снижению количества загрязняющих частиц, тем самым повышая качество пластин.
| размер | Емкость | D1 Поле | Шаг слота | ширина дна |
| 4 дюйма | 25 | 14,53 мм (0,57 дюйма) | 4,76 мм (0,19 дюйма) | 1,52 мм (0,06 дюйма) |
| 4 1/8 дюйма | 12 | 21,26 мм (0,84 дюйма) | 9,5 мм (0,37 дюйма) | 6,28 мм (0,25 дюйма) |
| 6“ | 25 | 14,53 мм (0,57 дюйма) | 4,76 мм (0,19 дюйма) | 1,52 мм (0,06 дюйма) |
| 6,25" | 12 | 18,92 мм (0,74 дюйма) | 9,52 мм (0,37 дюйма) | 3,81 мм (0,15 дюйма) |
| 6,25" | 25 | 14,54 мм (0,57 дюйма) | 4,76 мм (0,19 дюйма) | 1,52 мм (0,06 дюйма) |
| 8 дюймов | 25 | 25,4 мм (1 дюйм) | 6,35 мм (0,25 дюйма) | 1,7 мм (0,07 дюйма) |
Не рекомендуется, только для сухого переноса.
Кассеты из ПЭЭК-пластин также доступны для кастомизации, что позволяет им соответствовать особым производственным потребностям, что важно в полупроводниковой промышленности, где стандартные продукты могут не полностью соответствовать интерфейсам оборудования, типу пластин или факторам окружающей среды. Структурная кастомизация обычно выполняется для корректировки размеров, формы слотов, добавления материалов или функций для повышения совместимости и эффективности. Например, можно изменить ширину слотов в диаметре пластины (от 75 мм до 300 мм), реализовать лазерную гравировку, интеграцию RFID и автоматизированный контроль запасов, а также использовать электростатическую рассеивающую отделку для предотвращения загрязнения. Также возможна кастомизация цвета, смешивание углеродного волокна для повышения жесткости, а также такие характеристики, как расширенные слоты (для более толстых пластин) или добавление покрытия, устойчивого к химикатам, такого как тефлон PFA. Кастомизация соответствует стандартам SEMI, которые способствуют легкой интеграции в автоматизированные устройства, такие как роботизированные руки, и обычно сроки поставки составляют 4-8 недель в зависимости от сложности. Гибкость идеальна для высокоточных процессов, таких как химическое осаждение из газовой фазы или диффузия при высокотемпературных переносах.
| Категория настройки | Конкретные параметры | Типичные параметры | Преимущества |
| Размеры и вместимость | Регулировка диаметра пластины (75 мм, 100 мм, 150 мм, 200 мм, 300 мм); Изменение количества слотов (12, 22, 25 слотов) | Ширина паза: регулируемая 1,5–3 мм; Размеры: соответствуют стандартам SEMI M31 | Подходит для пластин различной толщины, снижает риск проскальзывания, повышает совместимость с автоматизацией |
| Дизайн слотов | Расширенные пазы, открытые/закрытые пазы, оптимизированные углы скоса | Расстояние между пазами: 10–15 мм; Угол: 5–10° | Облегчает установку/извлечение пластин, подходит для толстых и тонких пластин, уменьшает повреждения |
| Улучшения материалов | Смешивание углеродного волокна, ESD-покрытие (рассеивающее электростатические заряды), добавки наноматериалов | Поверхностное сопротивление: 10^6–10^9 Ом/кв.; Цвета: черный/натуральный/пользовательский. | Улучшает износостойкость и защиту от статического электричества, идеально подходит для чистых помещений |
| Дополнительные возможности | Лазерная гравировка, интеграция RFID, химически стойкие покрытия (например, PFA или PPS) | Частота RFID: 13,56 МГц; Глубина гравировки: 0,1–0,5 мм | Обеспечивает отслеживание и автоматизацию, повышает эффективность производства |
| Другие особые требования | Совместимость с машинным интерфейсом, настройка цвета | Температурная стойкость: постоянная 120°C, пиковая 340°C | Подходит для конкретного оборудования, увеличивает общую долговечность |
| Атрибут | Кассета из ПЭЭК-пластины | Кассета из пластин PFA | Сравнение преимуществ (PEEK и PFA) |
| Температурная стойкость | Непрерывная температура 120°C, пиковая температура 340°C | Непрерывная температура 100°C, пиковая температура 260°C | ПЭЭК отлично подходит для высокотемпературных процессов, таких как химическое осаждение из газовой фазы и диффузия. |
| Химическая устойчивость | Хорошо (устойчив к большинству растворителей, не подходит для погружения в сильные кислоты) | Отлично (полностью фторированный, устойчив к сильным кислотам и основаниям) | PFA превосходит процессы химической очистки |
| Механическая прочность | Высокая жесткость, износостойкость (прочность на разрыв ~100 МПа) | Умеренная (прочность на разрыв ~25 МПа) | ПЭЭК более прочный и имеет более длительный срок службы (вдвое дольше, чем ППС) |
| Защита от статического электричества | Защита от электростатических разрядов, доступна комбинация углеродного волокна | Хорошо, но требуется дополнительное покрытие | PEEK упрощает интеграцию функций ESD |
| Стоимость | Высшее (премиум-приложения) | Умеренный | PEEK предлагает большую ценность для долгосрочных инвестиций |
| Типичные области применения | Сухие переводы, высокотемпературное запекание | Мокрые химические процессы | PEEK отличается превосходной термостойкостью, PFA — химической совместимостью. |
English 
German 
Russian 
Spanish 
French 
Japanese 
Portuguese (Portugal) 
Turkish 
Portuguese (Brazil)