Кассета для пластин используется для обработки и хранения носителя пластин, основная роль заключается в соединении с реакционными камерами микросреды различных производственных машин, для предотвращения загрязнения частиц пластин, для повышения надежности обработки и хранения, а также эффективности транспортировки, различные размеры кристалла пластины соответствуют потребностям различных областей и различных уровней кристалла, поэтому существуют коробки для пластин разных размеров.
Переносной пластинчатый носитель PEEK подходит для переноса пластин в процессе производства, а зажим для пластин позволяет хранить и транспортировать пластины, обеспечивая надежность хранения и переноса.
В частности, кассеты для пластин ПЭЭК предназначены для транспортировки различных типов полупроводниковых пластин, а также полупроводниковых материалов третьего поколения, таких как кремний, германий, арсенид галлия и другие.
Они выполняют функцию экранов во время обработки, перемещения и хранения пластин, гарантируя, что пластины не будут контактировать с загрязняющими веществами во время перемещения и хранения.
Поскольку материал PEEK обладает хорошими антистатическими свойствами, а также низкими характеристиками дегазации, это способствует снижению содержания загрязняющих частиц, тем самым повышая качество пластин.
Технические характеристики пластины-носителя PEEK
| размер | Емкость | D1 Поле | Шаг слота | ширина дна |
|---|---|---|---|---|
| 4" | 25 | 14,53 мм (0,57") | 4,76 мм (0,19") | 1,52 мм (0,06") |
| 4 1/8" | 12 | 21,26 мм (0,84") | 9,5 мм (0,37") | 6,28 мм (0,25") |
| 6“ | 25 | 14,53 мм (0,57") | 4,76 мм (0,19") | 1,52 мм (0,06") |
| 6.25" | 12 | 18,92 мм (0,74 дюйма) | 9,52 мм (0,37") | 3,81 мм (0,15") |
| 6.25" | 25 | 14,54 мм (0,57") | 4,76 мм (0,19") | 1,52 мм (0,06") |
| 8" | 25 | 25,4 мм (1 дюйм) | 6,35 мм (0,25") | 1,7 мм (0,07") |
Пластина-носитель PEEK может достигать антистатического уровня, а поверхностное сопротивление достигает 10⁶-109
В процессе загрузки пластины-носителя ПЭЭК не образуются мелкие частицы износа, загрязняющие зажим пластины.
Кассета для пластин из ПЭЭК может противостоять коррозии, вызываемой различными химикатами во время очистки пластин,
Несущая пластина PEEK обладает высокой жесткостью, которая не только противостоит деформации, вызванной внешними силами, но и обеспечивает точность упаковки между компонентами.
Количество выделяемого газа при комнатной температуре или даже в условиях высокой температуры минимально, что может удовлетворить высокие требования к чистоте газа, предъявляемые к пластинчатой кассете.
Пластина-носитель PEEK может выдерживать температуру сушки 150–260 градусов по Цельсию, при этом размер продукта не изменится.
