具体的には、PEEK ウェーハ カセットは、さまざまな種類の半導体ウェーハや、シリコン、ゲルマニウム、ガリウムヒ素などの第 3 世代の半導体材料を輸送するように設計されています。
これらは、ウェーハの処理、移動、保管中にシールドとして機能し、移動中および保管中にウェーハが汚染物質に接触しないようにします。
PEEK 素材は帯電防止性と低脱ガス性に優れているため、粒子汚染の削減に役立ち、ウェーハの品質が向上します。
| サイズ | 容量 | D1 ピッチ | スロットピッチ | 底の幅 |
| 4インチ | 25 | 14.53mm(0.57インチ) | 4.76mm(0.19インチ) | 1.52mm(0.06インチ) |
| 4 1/8インチ | 12 | 21.26mm(0.84インチ) | 9.5mm(0.37インチ) | 6.28mm(0.25インチ) |
| 6“ | 25 | 14.53mm(0.57インチ) | 4.76mm(0.19インチ) | 1.52mm(0.06インチ) |
| 6.25インチ | 12 | 18.92mm(0.74インチ) | 9.52mm(0.37インチ) | 3.81mm(0.15インチ) |
| 6.25インチ | 25 | 14.54mm(0.57インチ) | 4.76mm(0.19インチ) | 1.52mm(0.06インチ) |
| 8インチ | 25 | 25.4mm(1インチ) | 6.35mm(0.25インチ) | 1.7mm(0.07インチ) |
推奨されません。乾式転写のみ
PEEKウェーハカセットは、特殊な生産ニーズに対応できるカスタマイズサービスも提供しています。これは、標準製品が装置のインターフェース、ウェーハの種類、環境要因に完全に適合しない半導体業界では重要です。構造カスタマイズは通常、寸法、スロット形状、材料の追加、または機能を調整することで、互換性と効率性を高めるために行われます。例えば、ウェーハ直径（75mm～300mm）のスロット幅の変更、レーザー彫刻、RFID統合、自動在庫管理の実装、汚染防止のための静電気拡散仕上げの適用などが可能です。色のカスタマイズも可能で、剛性を高めるためにカーボンファイバーを混合することも可能で、スロット幅の拡大（ウェーハが厚い場合）やテフロンPFAなどの耐薬品性コーティングなどの仕様を追加することも可能です。カスタマイズはSEMI規格に準拠しており、ロボットアームなどの自動化装置への容易な統合を促進します。納期は通常、複雑さに応じて4～8週間です。この柔軟性は、CVDや高温転写における拡散などの高精度プロセスに最適です。
| カスタマイズカテゴリー | 特定のオプション | 標準的なパラメータ | 利点 |
| 寸法と容量 | ウェーハ径調整（75mm、100mm、150mm、200mm、300mm）; スロット数変更（12、22、25スロット） | スロット幅: 1.5～3mmに調整可能; 寸法: SEMI M31規格に準拠 | さまざまなウェーハの厚さに対応し、滑りリスクを軽減し、自動化互換性を向上 |
| スロットデザイン | 幅広のスロット、オープン/クローズドスロット、最適化されたベベル角度 | スロット間隔：10～15mm、角度：5～10° | ウェーハの挿入/取り外しを容易にし、厚いウェーハや薄いウェーハに適しており、損傷を軽減します。 |
| マテリアルの強化 | 炭素繊維ブレンド、ESDコーティング（静電気拡散性）、ナノ材料添加剤 | 表面抵抗率: 10^6-10^9 Ω/平方; 色: ブラック/ナチュラル/カスタム | 耐摩耗性と静電気防止性が向上し、クリーンルーム環境に最適です。 |
| 追加機能 | レーザー彫刻、RFID統合、耐薬品性コーティング（PFAまたはPPSなど） | RFID周波数：13.56MHz; 彫刻深さ：0.1～0.5mm | 追跡と自動化を可能にし、生産効率を向上 |
| その他の特別な要件 | マシンインターフェースの互換性、色のカスタマイズ | 耐熱性：連続120℃、ピーク340℃ | 特定の機器にマッチし、全体的な耐久性を向上 |
| 属性 | PEEK ウェーハカセット | PFAウェーハカセット | 利点の比較（PEEK vs PFA） |
| 耐熱温度 | 連続120℃、ピーク340℃ | 連続100℃、ピーク260℃ | PEEKはCVDや拡散などの高温プロセスに優れています |
| 耐薬品性 | 良好（ほとんどの溶剤に耐性がありますが、強酸への浸漬には適していません） | 優秀（完全にフッ素化されており、強酸および強塩基に耐性があります） | PFAは化学洗浄プロセスで優れた性能を発揮します |
| 機械的強度 | 高剛性、耐摩耗性（引張強度約100MPa） | 中程度（引張強度約25MPa） | PEEKは耐久性が高く、寿命が長い（PPSの2倍） |
| 静電気防止 | ESD安全、カーボンファイバーブレンドも利用可能 | 良いですが、追加のコーティングが必要です | PEEKはESD機能をより簡単に統合します |
| コスト | 上位（プレミアムアプリケーション） | 適度 | PEEKは長期投資に大きな価値を提供します |
| 代表的な用途 | 乾式転写、高温焼成 | 湿式化学プロセス | PEEKは耐熱性に優れ、PFAは耐薬品性に優れています |
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