ウェーハカセットはウェーハキャリアの取り扱いと保管に使用され、主な役割は、さまざまな生産機械のマイクロ環境ボックス反応室に接続し、ウェーハ粒子汚染を防ぎ、取り扱いと保管の信頼性と輸送効率を向上させることです。さまざまなサイズのウェーハチップがさまざまな領域とさまざまなレベルのチップのニーズを満たすため、ウェーハボックスにはさまざまなサイズが存在します。
PEEK キャリア ウェーハは、製造工程中にウェーハを転送するのに適しており、ウェーハ クリップを使用してウェーハを保管および輸送でき、保管と転送の信頼性が向上します。
具体的には、PEEK ウェーハ カセットは、さまざまな種類の半導体ウェーハや、シリコン、ゲルマニウム、ガリウムヒ素などの第 3 世代の半導体材料を輸送するように設計されています。
これらは、ウェーハの処理、移動、保管中にシールドとして機能し、移動中および保管中にウェーハが汚染物質に接触しないようにします。
PEEK 素材は帯電防止性と低脱ガス性に優れているため、粒子汚染物質の削減に役立ち、ウェーハの品質が向上します。
PEEKキャリアウェーハ仕様
| サイズ | 容量 | D1 ピッチ | スロットピッチ | 底の幅 |
|---|---|---|---|---|
| 4" | 25 | 14.53mm(0.57インチ) | 4.76mm(0.19インチ) | 1.52mm(0.06インチ) |
| 4 1/8" | 12 | 21.26mm(0.84インチ) | 9.5mm(0.37インチ) | 6.28mm(0.25インチ) |
| 6“ | 25 | 14.53mm(0.57インチ) | 4.76mm(0.19インチ) | 1.52mm(0.06インチ) |
| 6.25" | 12 | 18.92mm(0.74インチ) | 9.52mm(0.37インチ) | 3.81mm(0.15インチ) |
| 6.25" | 25 | 14.54mm(0.57インチ) | 4.76mm(0.19インチ) | 1.52mm(0.06インチ) |
| 8" | 25 | 25.4mm(1インチ) | 6.35mm(0.25インチ) | 1.7mm(0.07インチ) |
PEEKキャリアウェーハは帯電防止レベルを達成でき、表面抵抗率は10⁶-に達します。109
PEEK キャリア ウェーハをロードするプロセスでは、ウェーハ クリップを汚染する微細な摩耗破片は生成されません。
PEEKウェーハカセットは、ウェーハ洗浄中のさまざまな化学物質による腐食に耐えることができます。
PEEK キャリア ウェーハは剛性が高く、外力による変形に耐えるだけでなく、コンポーネント間のパッケージング精度も保証します。
室温または高温環境でも放出されるガスの量は最小限であるため、ウェーハカセットのガス清浄度に対する高い要件を満たすことができます。
PEEK キャリア ウェーハは 150 ～ 260 ℃ の乾燥温度要件を満たすことができ、製品のサイズは変化しません。
